真空镀膜时机械泵、罗茨泵、分子泵各在什么时候启动?
机械泵常压启动，过几分钟后可启动罗茨泵，最后启动分子泵；一般程序上有启动和自动关闭的上下限
你好，我做了真空镀膜3年了，衫孙樱我了解一点，抽气前，应用机械泵，抽到100pa时，罗茨泵启动，最后分子泵即真空凯散阀！我因为刚辞职了，或丛就能帮你这么多了，不好意思！
机械泵随时都可以启动，罗茨泵根据你渗桐的要求来，最好是一千帕到五含喊拦百帕启动，也可以到一万帕，分子泵要晚点，四五谈胡帕的时候
机丛宴械泵抽机体的时候就开 先开机械泵 V1阀 一侍做般5分钟左渗谈银右开罗茨泵 3.0*10零次方时开分子泵
涡轮分子泵是输运泵还是捕获泵
输运泵。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量输运给气体分子弯稿滑，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照敬纯射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。埋腊
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